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净化工程中空气净化的处理方案

净化工程是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。在净化中对空气的净化的方案也是不可避免的。

1.净化工程中,对各级别空气洁净度进行净化处理,均应采用初效、中效和高效三级空气过滤器。

2.空气滤清器的选择布置及安装方式,应符合:初效空气滤清器不应选择油浸式滤清器;中效空气滤清器宜设于净化空气调节系统正压段;高效空气滤清器设于净化空气调节系统末端,高效空气滤清器安装应简便易行,便于检漏和更换;中效和高效空气滤清器宜设于同一净化车间;阻力和效率相似的高效空气滤清器宜设于同一净化车间。

3.在确定集中式或分散式净化空气调节系统时,应综合考虑生产工艺特点及净化车间空气的纯净度等级、面积、位置等因素。对于生产工艺连续、无尘车间或净化车间面积较大、位置集中,且对噪声、振动控制要求高的净化车间,宜采用集中净化空气调节系统。

4.净化空气调节系统如需电加热,应选用管状电加热器,位置应设置在高效空气过滤器上风侧,并有防火措施。

5.净化工程净化空气调节系统,除直流系统和设有值班风扇的系统外,应采用防灌倒措施,防止室外污染空气通过新风口进入净化车间。

6.净化空气调节系统的设计应合理利用回风,凡工艺过程中产生大量有害物质,局部处理不符合卫生要求,或对其它工序有危害时,不得采用回风。